採用(yòng)X/Y龙门移动平台,可(kě)个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组,应用(yòng)于各涂佈製程后的色度/膜厚/OD不均及异常的自动精密量测。
採用(yòng)X/Y龙门移动平台,可(kě)个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组,应用(yòng)于各涂佈製程后的色度/膜厚/OD不均及异常的自动精密量测。
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