採用(yòng)单一或多(duō)种光學(xué)取像系统，搭配DM影像检测技术，针对CF全膜涂佈后、曝光显影前的所产生的膜厚、色度变异或Array曝光显影后所产生的图形变异所产生的Mura进行即时检知。