OLED檢測機

採用(yòng)多(duō)種光學取像系統及影像品質穩定硬體設計，搭配獨有(yǒu)檢測演算軟體，針對蒸鍍後及雷射修補後所產生或殘留的各類孔洞及表面異常缺陷進行有(yǒu)效檢知與分(fēn)類及無效缺陷過濾，可(kě)應用(yòng)於CMM及FMM產品。

✔解像及缺陷檢出能(néng)力範圍可(kě)達 3um~5um
✔檢出區域可(kě)同時涵蓋光罩區及外框區
✔檢測技術可(kě)支援不同圖像設計及任意形狀的光罩產品。
✔缺陷智能(néng)分(fēn)類功能(néng)

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